[实用新型]散热组件、散热系统及光刻机有效
| 申请号： | 202121762569.3 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215379661U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 高杰;王志国;李德军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种散热组件、散热系统及光刻机，用于对功率线路板进行散热，其特征在于，包括散热盒、进液流道、出液流道及若干扰流柱，所述功率线路板设置在所述散热盒上，所述进液流道及所述出液流道位于所述散热盒内且并排盘绕成螺旋形，所述进液流道和所述出液流道位于螺旋形中心的一端连通，另一端伸出所述散热盒以分别用于进液和出液，所述扰流柱固定在所述进液流道和/或所述出液流道内。本实用新型提高了散热组件的散热能力、降低散热噪声及提高散热系统的空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 组件 系统 光刻 | ||
【主权项】：
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