[实用新型]散热组件、散热系统及光刻机

权利要求书

1.一种散热组件，用于对功率线路板进行散热，其特征在于，包括散热盒、进液流道、出液流道及若干扰流柱，所述功率线路板设置在所述散热盒上，所述进液流道及所述出液流道位于所述散热盒内且并排盘绕成螺旋形，所述进液流道和所述出液流道位于螺旋形中心的一端连通，另一端伸出所述散热盒以分别用于进液和出液，所述扰流柱固定在所述进液流道和/或所述出液流道内。

2.如权利要求1所述的散热组件，其特征在于，所述散热盒内设置有两个隔液板，两个所述隔液板并排盘绕成螺旋形，两个所述隔液板之间的区域构成所述进液流道和所述出液流道。

3.如权利要求2所述的散热组件，其特征在于，所述散热盒包括腔体和扣合在所述腔体上的盖板，所述扰流柱包括固定部和延伸部，所述固定部与所述盖板连接，所述延伸部伸入两个所述隔液板之间。

4.如权利要求3所述的散热组件，其特征在于，所述延伸部为三棱锥型、圆柱型和长方体型中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的散热组件，其特征在于，所述进液流道和/或所述出液流道中的所述扰流柱沿液体流向间隔分布，且相邻两个所述扰流柱在垂直于液体流向上的位置不同。

6.如权利要求1所述的散热组件，其特征在于，所述散热盒上还设有若干第一温度传感器，所述第一温度传感器围绕所述功率线路板，用于检测所述功率线路板的温度。

7.一种散热系统，其特征在于，包括若干如权利要求1～6中任一项所述的散热组件、进液管、出液管及机壳，所述散热组件设置于所述机壳内，所述进液管及所述出液管分别与若干进液流道及若干出液流道连接。

8.如权利要求7所述的散热系统，其特征在于，还包括风冷单元，设置在所述机壳外，所述机壳的两个相对的侧壁上均设有风口，所述风冷单元的风管对准所述风口以向所述机壳内送风/抽风，所述散热组件的表面与风向平行。

9.如权利要求7所述的散热系统，其特征在于，还包括温度监控单元，设置在所述机壳内，所述温度监控单元包括第二温度传感器和温度控制器，所述第二温度传感器用于检测所述机壳内的温度，所述温度控制器根据所述第二温度传感器的检测结果控制所述进液管和/或所述出液管的液体流量。

10.如权利要求9所述的散热系统，其特征在于，所述进液管和所述出液管上均设有电磁阀，所述温度控制器与所述电磁阀连接，通过控制所述电磁阀控制所述进液管及所述出液管的液体流量。

11.一种光刻机，其特征在于，包括驱动组件、运动台及如权利要求7-10中任一项所述的散热系统，所述驱动组件与功率线路板电性连接，并在所述功率线路板的控制下控制所述运动台运动。