[实用新型]散热组件、散热系统及光刻机

说明书

本实用新型提供了一种散热组件、散热系统及光刻机，用于对功率线路板进行散热，其特征在于，包括散热盒、进液流道、出液流道及若干扰流柱，所述功率线路板设置在所述散热盒上，所述进液流道及所述出液流道位于所述散热盒内且并排盘绕成螺旋形，所述进液流道和所述出液流道位于螺旋形中心的一端连通，另一端伸出所述散热盒以分别用于进液和出液，所述扰流柱固定在所述进液流道和/或所述出液流道内。本实用新型提高了散热组件的散热能力、降低散热噪声及提高散热系统的空间利用率。

技术领域

本实用新型涉及散热技术领域，尤其涉及一种散热组件、散热系统及光刻机。

背景技术

光刻机中的运动控制系统具有热耗大、容易被外界信号干扰的特点。目前一般采用风冷对运动控制系统进行散热，但风冷散热的缺点是不能完全与运动控制系统中的功率线路板贴合，只能通过风能带走功率线路板表面的热量，导致散热能力较差；并且设置若干风机在机柜中会导致机柜的体积较大，容纳运动控制板的数量也较少；还会导致噪声较大、能耗较高、密封性较差及抗干扰能力较差等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种散热组件、散热系统及光刻机，以提高散热组件的散热能力、降低散热噪声及提高散热系统的空间利用率。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种散热组件，用于对功率线路板进行散热，包括散热盒、进液流道、出液流道及若干扰流柱，所述功率线路板设置在所述散热盒上，所述进液流道及所述出液流道位于所述散热盒内且并排盘绕成螺旋形，所述进液流道和所述出液流道位于螺旋形中心的一端连通，另一端伸出所述散热盒以分别用于进液和出液，所述扰流柱固定在所述进液流道和/或所述出液流道内。

可选的，所述散热盒内设置有两个隔液板，两个所述隔液板并排盘绕成螺旋形，两个所述隔液板之间的区域构成所述进液流道和所述出液流道。

可选的，所述散热盒包括腔体和扣合在所述腔体上的盖板，所述扰流柱包括固定部和延伸部，所述固定部与所述盖板连接，所述延伸部伸入两个所述隔液板之间。

可选的，所述延伸部为三棱锥型、圆柱型和长方体型中的一种或多种。

可选的，所述进液流道和/或所述出液流道中的所述扰流柱沿液体流向间隔分布，且相邻两个所述扰流柱在垂直于液体流向上的位置不同。

可选的，所述散热盒上还设有若干第一温度传感器，所述第一温度传感器围绕所述功率线路板，用于检测所述功率线路板的温度。

一种散热系统，包括若干如上所述的散热组件、进液管、出液管及机壳，所述散热组件设置于所述机壳内，所述进液管及所述出液管分别与若干进液流道及若干出液流道连接。

可选的，还包括风冷单元，设置在所述机壳外，所述机壳的两个相对的侧壁上均设有风口，所述风冷单元的风管对准所述风口以向所述机壳内送风/抽风，所述散热组件的表面与风向平行。

可选的，还包括温度监控单元，设置在所述机壳内，所述温度监控单元包括第二温度传感器和温度控制器，所述第二温度传感器用于检测所述机壳内的温度，所述温度控制器根据所述第二温度传感器的检测结果控制所述进液管和/或所述出液管的液体流量。

可选的，所述进液管和所述出液管上均设有电磁阀，所述温度控制器与所述电磁阀连接，通过控制所述电磁阀控制所述进液管及所述出液管的液体流量。

一种光刻机，包括驱动组件、运动台及如上所述的散热系统，所述驱动组件与功率线路板电性连接，并在所述功率线路板的控制下控制所述运动台运动。