[实用新型]一种新型单向多晶硅还原炉有效
| 申请号: | 202121740495.3 | 申请日: | 2021-07-29 |
| 公开(公告)号: | CN215479763U | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
| 发明(设计)人: | 张华芹;程佳彪 | 申请(专利权)人: | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
| 代理公司: | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人: | 谢小军 |
| 地址: | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种新型单向多晶硅还原炉,所述新型单向多晶硅还原炉包括底盘;炉罩,所述炉罩扣设在所述底盘上、并与所述底盘围设成炉腔;夹套,所述夹套环套在所述炉罩上;加热组件;所述加热组件设置在底盘上并位于炉腔内;氢气环管,所述氢气环管设于炉腔内;进料喷嘴以及尾气出口,所述尾气出口设置于炉罩顶部的中央,所述炉罩的顶部为圆顶形,所述尾气出口还套设有膨胀节,所述进料喷嘴设置在底盘上。能够解决“全返混式”还原炉反应器的顶部区域的流动死区问题、解决“全返混式”还原炉反应器的内局部温度过高的情况、并实现多晶硅产出质量的提高的效果。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 新型 单向 多晶 还原 | ||
【主权项】:
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