[实用新型]一种新型单向多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述新型单向多晶硅还原炉包括底盘；炉罩，所述炉罩扣设在所述底盘上、并与所述底盘围设成炉腔；夹套，所述夹套环套在所述炉罩上；加热组件；所述加热组件设置在底盘上并位于炉腔内；氢气环管，所述氢气环管设于炉腔内；进料喷嘴以及尾气出口，所述尾气出口设置于炉罩顶部的中央，所述炉罩的顶部为圆顶形，所述尾气出口还套设有膨胀节，所述进料喷嘴设置在底盘上。

2.根据权利要求1所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述加热组件包括设于底盘上的电极以及设置于电极上的硅棒。

3.根据权利要求2所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述夹套上设有进水孔和排净口。

4.根据权利要求3所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述夹套采用半管螺旋夹套。

5.根据权利要求4所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述炉罩上设有视镜，所述氢气环管的出气端朝向视镜。

6.根据权利要求5所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述电极数量为12的倍数，所述电极呈同心圆式的环形等距布置在底盘上。

7.根据权利要求6所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述述炉罩采用高温特材合金与不锈钢复合板制成，所述炉罩内壁设有镀层。

8.根据权利要求7所述的一种新型单向多晶硅还原炉，其特征在于：所述底盘上设有垫片进出水口。