[实用新型]一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构有效
| 申请号： | 202121731271.6 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN215181404U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 洪文庆 | 申请（专利权）人： | 锐捷光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，本实用新型通过上述等装置的配合实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 衬底 工用 曝光 冷却 机构 | ||
【主权项】：
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