[实用新型]一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构

权利要求书

1.一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶端一侧固定连接有支柱（2），所述支柱（2）顶端固定连接有冷却柜（3），所述冷却柜（3）右端内壁固定连接有抽风机（4），所述冷却柜（3）左端内部设置有过滤网（5），所述冷却柜（3）内部中间设置有冷却板（6），所述冷却板（6）左端经第一连接管（7）固定连接有冷却液箱（8），所述冷却板（6）右端经第一连接管（7）固定连接有抽液泵（9），所述抽液泵（9）另一端经进液管（10）固定连接有集液箱（11），所述冷却柜（3）底端右侧固定连接有出风管（13），所述出风管（13）周侧缠绕有冷却管（15），所述冷却管（15）底部一端经第二连接管（16）固定连接有水泵（17），所述水泵（17）另一端经第二连接管（16）固定连接有降温柜（18）。

2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述降温柜（18）内部设置有盛放槽（19），所述盛放槽（19）正上方的降温柜（18）内壁上设置有降温风扇（21），所述降温柜（18）两侧开设有透风口（20）。

3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却柜（3）左端固定连接有进风连接软管（12），所述出风管（13）左端贯穿支柱（2）且固定连接有出风连接软管（14）。

4.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却板（6）前后两侧固定连接在冷却柜（3）内壁。

5.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却板（6）由若干组矩形冷却管组合而成且所述第一连接管（7）底端伸入冷却柜（3）与位于冷却板（6）最左端的矩形冷却管顶端中间连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述第一连接管（7）设置为两个，且右侧第一连接管（7）底端固定连接在冷却板（6）右端顶部。