[实用新型]一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构

说明书

本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，本实用新型通过上述等装置的配合实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种冷却机构，具体为一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，属于蓝宝石衬底加工技术领域。

背景技术

蓝宝石衬底有着诸多优点，在对蓝宝石衬底加工时需要曝光机工作，而曝光机在工作时发光源温度会很高，灯管会不停发热，长时间之后会影响曝光效果，同时会减少灯管寿命，同时工作台温度不能太高，会影响曝光操作，所以需要冷却机构对曝光室和工作台面降温，现有降温装置容易造成曝光机内部气压失衡，影响正常曝光机的使用，因此需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果，解决了以上背景中提出的问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，所述水泵另一端经第二连接管固定连接有降温柜。

优选的，所述降温柜内部设置有盛放槽，所述盛放槽正上方的降温柜内壁上设置有降温风扇，所述降温柜两侧开设有透风口。

优选的，所述冷却柜左端固定连接有进风连接软管，所述出风管左端贯穿支柱且固定连接有出风连接软管。

优选的，所述冷却板前后两侧固定连接在冷却柜内壁。

优选的，所述冷却板由若干组矩形冷却管组合而成且所述第一连接管底端伸入冷却柜与位于冷却板最左端的矩形冷却管顶端中间连接。

优选的，所述第一连接管设置为两个，且右侧第一连接管底端固定连接在冷却板右端顶部。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置的抽风机在冷却柜抽进热风，经过滤板过滤灰尘等颗粒，再启动抽液泵经冷却液箱将冷却液抽进冷却板内部，热风流经冷却板进行降温，在流进出风管，启动水泵经冷却管的约束使得冷水在冷却管内循环流动，启动降温风扇可以对流经盛放槽的含有热量的水降温，实现对曝光机内部的热风二次降温的效果，再经出风连接软管流回曝光机内部，进而实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的冷却板结构图。

图3是本实用新型的图1中A处放大图。

图4是本实用新型的主视图。