[实用新型]一种晶圆紧固装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆紧固装置，包括旋转基座，分别与旋转基座相连的至少三个连接臂，及固定机构，固定机构包括设于连接臂的承托部，及转动连接于承托部的配重件，配重件上形成缺口部，该缺口部上具有抵压面，当旋转基座转动时，配重件相对承托部转动，抵压面可抵接晶圆的侧壁，以配合承托部固定晶圆。本实用新型利用承托部向上托起晶圆，利用离心力的作用使得配重件在随着旋转基座转动时，其下底部向外运动，从而其上端部可以向下压持住晶圆，实现对晶圆的稳固夹持，而且抵压面抵接在晶圆的侧壁，不会与晶圆的上表面形成接触，保证晶圆的性能不会受到影响，晶圆干燥效果也达到最佳。