[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 202121656203.8 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215466810U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 龚新;储鑫 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/087 | 分类号： | B08B9/087;B08B9/08;B08B15/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种清洁装置。所述清洁装置包括：基座；收纳腔，位于所述基座的端部，用于接收污染物；清洁头，位于所述收纳腔远离所述基座的一侧，用于去除位于待清洁表面上的所述污染物。本实用新型提供的清洁装置提高所述待清洁表面的清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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