[实用新型]一种晶圆夹具有效
| 申请号： | 202121612321.9 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN216141609U | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张登巍;冯丽彬;李鑫 | 申请（专利权）人： | 苏州鼎芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/16;H01J37/32;H01L21/687 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆夹具，包括：夹具，还包括：承载盘、环形轨道；环形轨道与承载盘同轴设置；承载盘设置有角度调节部；环形轨道设置于承载盘的上方，环形轨道与承载盘处于同一轴线上；夹具包括滚轮、夹持部、连接部；滚轮与夹持部之间连接有自转轴，自转轴套设于连接部内；连接部与固定件的一端活动连接，固定件的另一端与角度调节部连接；滚轮与环形轨道相切；角度调节部用于调节夹具与水平面的夹角；环形轨道固定，承载盘带动夹具绕轴公转，滚轮与环形轨道摩擦带动夹持部自转。本实用新型能够对电极台阶侧壁完整包覆，提高芯片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州鼎芯光电科技有限公司，未经苏州鼎芯光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202121612321.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种5线反功能电插锁
- 下一篇：一种木地板切割机定位装置
- 同类专利
- 专利分类
