[实用新型]一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫有效
申请号: | 202121525848.8 | 申请日: | 2021-07-05 |
公开(公告)号: | CN215036468U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 王璇 | 申请(专利权)人: | 天津微科光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24B37/20;B24B37/22;B24B37/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300452 天津市滨海新区自贸易试*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及抛光垫技术领域,且公开了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫,高密度聚乙烯的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料,聚丙烯热塑性塑料的下部装设有下表皮抛光磨层,下表皮抛光磨层的下表面紧贴安装有无磨料抛光层;抛光垫本体的中部贯穿开设有安装孔,安装孔的两侧均固定安装有辅助固定装置。设计的凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、高密度聚乙烯和聚丙烯热塑性塑料都具有较高的柔韧性,使得抛光垫本体自身能够折叠或者卷起;加设的上表皮抛光磨层、白钢石磨料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层,使得抛光垫本体的两面都能够起到打磨的作用;加设的安装孔和辅助固定装置,提高了装置的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 砷化镓 抛光 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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