[实用新型]一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫

权利要求书

1.一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，包括抛光垫本体(1)，其特征在于：所述抛光垫本体(1)的内部中间位置为凯夫拉纤维(11)，凯夫拉纤维(11)的上表面贴设安装有碳纤维层(12)，碳纤维层(12)的上部紧贴安装有氟硅橡胶(13)，氟硅橡胶(13)的上表面安装有上表皮抛光磨层(14)，上表皮抛光磨层(14)的上部固定安装有白钢石磨料(15)，凯夫拉纤维(11)的下部贴设安装有高密度聚乙烯(16)，高密度聚乙烯(16)的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料(17)，聚丙烯热塑性塑料(17)的下部装设有下表皮抛光磨层(18)，下表皮抛光磨层(18)的下表面紧贴安装有无磨料抛光层(19)；

抛光垫本体(1)的中部贯穿开设有安装孔(2)，安装孔(2)的两侧均固定安装有辅助固定装置(21)，且辅助固定装置(21)均安装于抛光垫本体(1)的内部，辅助固定装置(21)的左侧为固定槽(22)，固定槽(22)的内部均装设有弹簧(23)，弹簧(23)的另一端均固定连接有固定杆(24)。

2.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，其特征在于：所述凯夫拉纤维(11)、碳纤维层(12)、氟硅橡胶(13)、上表皮抛光磨层(14)、高密度聚乙烯(16)、聚丙烯热塑性塑料(17)、下表皮抛光磨层(18)和无磨料抛光层(19)均通过胶体复合粘接连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，其特征在于：所述固定杆(24)左侧上下均固定有档沿(25)，固定槽(22)的出口处均固定安装有限位挡头(26)，且档沿(25)与限位挡头(26)的位置、大小相适配。

4.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，其特征在于：所述固定杆(24)的顶部均固定有固定堵头(27)。

5.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，其特征在于：所述固定杆(24)贯穿抛光垫本体(1)的内壁伸入于安装孔(2)中。