[实用新型]一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫

说明书

本实用新型涉及抛光垫技术领域，且公开了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，高密度聚乙烯的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料，聚丙烯热塑性塑料的下部装设有下表皮抛光磨层，下表皮抛光磨层的下表面紧贴安装有无磨料抛光层；抛光垫本体的中部贯穿开设有安装孔，安装孔的两侧均固定安装有辅助固定装置。设计的凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、高密度聚乙烯和聚丙烯热塑性塑料都具有较高的柔韧性，使得抛光垫本体自身能够折叠或者卷起；加设的上表皮抛光磨层、白钢石磨料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层，使得抛光垫本体的两面都能够起到打磨的作用；加设的安装孔和辅助固定装置，提高了装置的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。

背景技术

抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。

常见的抛光垫一般在整体柔韧性不高，导致装置不方便折叠收起、固定不稳定、不能两面打磨，不能满足抛光垫的工作要求，为此提出一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，具备高效的整体柔韧性高，装置方便折叠收起、固定稳定、能两面打磨等优点，解决了现有的抛光垫一般整体柔韧性不高，导致装置不方便折叠收起、固定不稳定、不能两面打磨，不能满足抛光垫的工作要求的问题。

(二)技术方案

为实现上述整体柔韧性高，装置方便折叠收起、固定稳定、能两面打磨的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，包括抛光垫本体，所述抛光垫本体的内部中间位置为凯夫拉纤维，凯夫拉纤维的上表面贴设安装有碳纤维层，碳纤维层的上部紧贴安装有氟硅橡胶，氟硅橡胶的上表面安装有上表皮抛光磨层，上表皮抛光磨层的上部固定安装有白钢石磨料，凯夫拉纤维的下部贴设安装有高密度聚乙烯，高密度聚乙烯的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料，聚丙烯热塑性塑料的下部装设有下表皮抛光磨层，下表皮抛光磨层的下表面紧贴安装有无磨料抛光层；

抛光垫本体的中部贯穿开设有安装孔，安装孔的两侧均固定安装有辅助固定装置，且辅助固定装置均安装于抛光垫本体的内部，辅助固定装置的左侧为固定槽，固定槽的内部均装设有弹簧，弹簧的另一端均固定连接有固定杆。

优选的，所述凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、上表皮抛光磨层、高密度聚乙烯、聚丙烯热塑性塑料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层均通过胶体复合粘接连接。

优选的，所述固定杆左侧上下均固定有档沿，固定槽的出口处均固定安装有限位挡头，且档沿与限位挡头的位置、大小相适配。

优选的，所述固定杆的顶部均固定有固定堵头。

优选的，所述固定杆贯穿抛光垫本体的内壁伸入于安装孔中。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，具备以下有益效果：

1、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，设计的凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、高密度聚乙烯和聚丙烯热塑性塑料都具有较高的柔韧性，使得抛光垫本体自身能够折叠或者卷起，且凯夫拉纤维自身的刚性较高，能够支撑起抛光垫本体，使得抛光垫本体在工作时不会发生弯曲；

2、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，加设的上表皮抛光磨层、白钢石磨料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层，使得抛光垫本体的两面都能够起到打磨的作用，上表皮抛光磨层和白钢石磨料能够打磨表面粗糙的砷化镓，下表皮抛光磨层和无磨料抛光层能够对砷化镓进一步的打磨，使得砷化镓的表面能够被打磨的更光滑；

3、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，加设的安装孔和辅助固定装置，使得抛光垫本体能够被牢固的固定，提高了装置的稳定性。