[实用新型]物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构有效

专利信息
申请号: 202121486138.9 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN215339634U 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 王怀泰;刘力源;赵亚坤;张健;蔡克亚 申请(专利权)人: 安图实验仪器(郑州)有限公司
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;H01J49/02;H01J49/04;F16J15/10
代理公司: 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 代理人: 葛鹏飞
地址: 450016 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构,包括压差分界部,封扣于物质组分检测设备的真空腔室前端,其具有一与真空腔室密封连通的第一进样通道;绝缘密封部,可拆卸式封扣于压差分界部上,其上具有一导电金属层和一连接通孔;导电连接部,密封焊固于绝缘密封部的导电金属层上,其上具有一第二进样通道,第二进样通道、连接通孔和第一进样通道依次密封连通,形成位于所述真空腔室前端、腔径逐渐增大的阶梯式减压通道;电加热部,环贴于导电连接部外侧的导电金属层上。本实用新型优点在于提升真空腔室的真空度,提升物质组分检测设备的检测准确性;保证第二进样通道内电场的均匀性,提高物质组分检测设备的检测准确性。
搜索关键词: 物质 组分 检测 设备 空腔 室进样端 密封 结构
【主权项】:
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