[实用新型]物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构

权利要求书

1.一种物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：包括

压差分界部，封扣于物质组分检测设备的真空腔室前端，其具有一与所述真空腔室密封连通的第一进样通道；

绝缘密封部，可拆卸式封扣于所述压差分界部上，其上具有一导电金属层和一连接通孔；

导电连接部，密封焊固于所述绝缘密封部的导电金属层上，其上具有一第二进样通道，其中，所述第二进样通道、所述连接通孔和所述第一进样通道依次密封连通，形成位于所述真空腔室前端、腔径逐渐增大的阶梯式减压通道；及

电加热部，环贴于所述导电连接部外侧的所述导电金属层上，用于加热所述导电连接部。

2.根据权利要求1所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：所述压差分界部为压差分界盘，封扣于所述物质组分检测设备的真空腔室前端，所述第一进样通道沿所述压差分界盘的轴线设置，第一进样通道呈锥形腔道，其内腔直径自与所述真空腔室连通端向外逐渐缩小。

3.根据权利要求2所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：所述绝缘密封部为氧化铝陶瓷密封盘，封扣于所述压差分界盘的前侧面上，所述导电金属层均匀铺贴于与所述压差分界盘相对的所述氧化铝陶瓷密封盘外侧面中心处，所述连接通孔穿设于正对所述导电金属层中心处的氧化铝陶瓷密封盘上。

4.根据权利要求3所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：在所述氧化铝陶瓷密封盘上穿固有多个用于联电的导电探针。

5.根据权利要求3所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：在所述氧化铝陶瓷密封盘与所述压差分界盘之间设置有用于连接的卡接组件，所述卡接组件包括均布于所述氧化铝陶瓷密封盘上的多个固定轴，以及布设于所述压差分界盘上的与所述固定轴一一适配插接的弹簧卡扣。

6.根据权利要求3所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：在所述氧化铝陶瓷密封盘与所述压差分界盘之间设置有用于密封的橡胶密封圈。

7.根据权利要求3所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：所述导电连接部为焊固于所述导电金属层中心处的导电金属块，与焊接侧相对的所述导电金属块外侧呈直径逐渐缩小的锥形结构，导电金属块的轴线与氧化铝陶瓷密封盘的轴线一致，所述第二进样通道沿所述导电金属块的轴线开设。

8.根据权利要求7所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：所述第二进样通道的孔径为0.3~0.5mm。

9.根据权利要求7所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：所述电加热部为一内设有加热电路的电加热环，所述电加热环环绕于所述导电金属块外侧，并与所述导电金属层焊接固连。

10.根据权利要求9所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，其特征在于：在所述电加热环内集成有用于实时感应加热温度的感温电路。