[实用新型]物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构

说明书

本实用新型公开了一种物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，包括压差分界部，封扣于物质组分检测设备的真空腔室前端，其具有一与真空腔室密封连通的第一进样通道；绝缘密封部，可拆卸式封扣于压差分界部上，其上具有一导电金属层和一连接通孔；导电连接部，密封焊固于绝缘密封部的导电金属层上，其上具有一第二进样通道，第二进样通道、连接通孔和第一进样通道依次密封连通，形成位于所述真空腔室前端、腔径逐渐增大的阶梯式减压通道；电加热部，环贴于导电连接部外侧的导电金属层上。本实用新型优点在于提升真空腔室的真空度，提升物质组分检测设备的检测准确性；保证第二进样通道内电场的均匀性，提高物质组分检测设备的检测准确性。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪技术领域，尤其是涉及一种能够有效提升密封性的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构。

背景技术

在当前的科学研究实验和各种检验科的检验中，质谱法是一种非常普遍的、可靠并行之有效的技术手段；特别是液相质谱仪，其具有精密度高、研发制造难度高、市场需求广阔、仪器价值高、并且主要依靠进口的特点。

质谱仪的核心部件是质量分析器，用于进行离子分析，质量分析器位于真空腔室内，真空腔室的前端即为进样端，其上设置有密封构件，并与电喷雾离子源相连，从而实现电喷雾离子源（大气压）-密封构件（低真空度）-质量分析器（高真空度）的真空梯度。雾化的样品经电喷雾离子源电离产生带电离子，带电离子经密封构件上的进样通道进入真空腔室内，进而由质量分析器完成样品分析。

现有质谱仪上密封真空腔室前端的密封构件电阻不稳，电场均匀性较差，导致其密封效果较差，真空度只达到1.8*10e-2mbar，高于该真空度后漏气现象比较明显，导致真空腔室的真空系统需要长时间高负荷运行，不利于设备使用寿命；并且密封构件的密封性过低，直接导致真空腔室内的质量分析器的真空度也很难进一步提高。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，该密封结构能够有效提升密封性，提升压差分界面的真空度，进而提高质谱仪检测的准确性。

为实现上述目的，本实用新型可采取下述技术方案：

本实用新型所述的物质组分检测设备真空腔室进样端密封结构，包括：

压差分界部，封扣于物质组分检测设备的真空腔室前端，其具有一与所述真空腔室密封连通的第一进样通道；

绝缘密封部，可拆卸式封扣于所述压差分界部上，其上具有一导电金属层和一连接通孔；

导电连接部，密封焊固于所述绝缘密封部的导电金属层上，其上具有一第二进样通道，其中，所述第二进样通道、所述连接通孔和所述第一进样通道依次密封连通，形成位于所述真空腔室前端、腔径逐渐增大的阶梯式减压通道；及

电加热部，环贴于所述导电连接部外侧的所述导电金属层上，用于加热所述导电连接部。

进一步的，所述压差分界部为压差分界盘，封扣于所述物质组分检测设备的真空腔室前端，所述第一进样通道沿所述压差分界盘的轴线设置，第一进样通道呈锥形腔道，其内腔直径自与所述真空腔室连通端向外逐渐缩小。

进一步的，所述绝缘密封部为氧化铝陶瓷密封盘，封扣于所述压差分界盘的前侧面上，所述导电金属层均匀铺贴于与所述压差分界盘相对的所述氧化铝陶瓷密封盘外侧面中心处，所述连接通孔穿设于正对所述导电金属层中心处的氧化铝陶瓷密封盘上。

进一步的，在所述氧化铝陶瓷密封盘上穿固有多个用于联电的导电探针。

进一步的，在所述氧化铝陶瓷密封盘与所述压差分界盘之间设置有用于连接的卡接组件，所述卡接组件包括均布于所述氧化铝陶瓷密封盘上的多个固定轴，以及布设于所述压差分界盘上的与所述固定轴一一适配插接的弹簧卡扣。

进一步的，在所述氧化铝陶瓷密封盘与所述压差分界盘之间设置有用于密封的橡胶密封圈。