[实用新型]一种压紧机构有效
申请号: | 202121444163.0 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN216138339U | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 孙丰;张宝峰;吴斌;刘斌 | 申请(专利权)人: | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/70 | 分类号: | B23K26/70;B23K37/04;B23K26/362 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 诸世跃 |
地址: | 215100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压紧机构,包括:置放台,其开设有第一避让孔;多种定位盘,用以容置并定位多种种类的晶圆,定位盘置于置放台上,且部分嵌设定位在第一避让孔中;压紧基板,活动安装在置放台上方,压紧基板开设有第二避让孔;以及多种压盘,用于抵压多种种类的晶圆,压盘置于压紧基板上,且部分嵌设定位在第二避让孔中;其中,压盘部分穿过第二避让孔并与晶圆相对应,压紧基板可靠近或远离置放台,以驱动压盘抵压或松开晶圆。本申请能够适配并压紧不同种类的晶圆,且拆装方便快速,有效提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 压紧 机构 | ||
【主权项】:
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