[实用新型]一种压紧机构

权利要求书

1.一种压紧机构，其特征在于：包括：

置放台(21)，其开设有第一避让孔(21a)；

多种定位盘(211)，用以容置并定位多种种类的晶圆，所述定位盘(211)置于所述置放台(21)上，且部分嵌设定位在所述第一避让孔(21a)中；

压紧基板(241)，活动安装在所述置放台(21)上方，所述压紧基板(241)开设有第二避让孔(241a)；以及

多种压盘(242)，用于抵压多种种类的所述晶圆，所述压盘(242)置于所述压紧基板(241)上，且部分嵌设定位在所述第二避让孔(241a)中；

其中，所述压盘(242)部分穿过所述第二避让孔(241a)并与所述晶圆相对应，所述压紧基板(241)可靠近或远离所述置放台(21)，以带动所述压盘(242)抵压或松开所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于：所述压盘(242)包括用于压紧所述晶圆的压盘主体(2421)和沿其周向凸出成型的一圈第一凸缘(2422)；

所述第二避让孔(241a)包括孔主体(241b)和同心设置在所述孔主体(241b)外围的沉台部(241c)；

所述压盘主体(2421)嵌设定位于所述孔主体(241b)和/或所述第一凸缘(2422)嵌设定位于所述沉台部(241c)。

3.根据权利要求2所述的压紧机构，其特征在于：所述压盘(242)开设有第三避让孔(242a)，以避开所述晶圆的中部区域。

4.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于：所述定位盘(211)包括定位盘主体(2112)和沿其周向凸出成型的一圈第二凸缘(2113)，所述定位盘主体(2112)嵌设定位于所述第一避让孔(21a)，所述第二凸缘(2113)与所述置放台(21)的上端面相接触。

5.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于：所述定位盘(211)自上而下开设有下沉台(2111)，所述晶圆嵌设定位在所述下沉台(2111)中。

6.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于：所述定位盘(211)开设有与所述第一避让孔(21a)同心的第四避让孔(211a)，所述第一避让孔(21a)和所述第四避让孔(211a)配合避让所述晶圆的待标记区域。

7.根据权利要求1所述的压紧机构，其特征在于：所述压紧机构(24)还包括安装在所述置放台(21)上的第二Z轴升降组件(243)，所述第二Z轴升降组件(243)与所述压紧基板(241)传动连接，以驱动压紧基板(241)靠近或远离所述置放台(21)。

8.根据权利要求7所述的压紧机构，其特征在于：所述第二Z轴升降组件(243)包括：

第二驱动电机(245)；

引导组件(244)，其承接所述压紧基板(241)和置放台(21)，以引导所述压紧基板(241)沿Z轴方向移动；以及

第一传动组件(246)，其分别与所述第二驱动电机(245)和所述压紧基板(241)配接。

9.根据权利要求8所述的压紧机构，其特征在于：所述第一传动组件(246)包括：

凸轮组件(2462)，其位于所述压紧基板(241)下方，并用于推动所述压紧基板(241)；以及

同步带轮组(2461)，其两端分别与所述凸轮组件(2462)和所述第二驱动电机(245)相接；

其中，所述第二驱动电机(245)可驱动所述同步带轮组(2461)转动，以带动所述凸轮组件(2462)转动。

10.根据权利要求9所述的压紧机构，其特征在于：所述同步带轮组(2461)和所述凸轮组件(2462)数量为两组，且分别位于所述压紧基板(241)相对立的两侧，两组所述同步带轮组(2461)之间连接有传动轴(2465)，所述传动轴(2465)的端部与所述第二驱动电机(245)相接。