[实用新型]一种化学机械打磨设备有效
| 申请号： | 202121382185.9 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN216228876U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 傅一非;李良军;何玲芳;苏明;杨丽洁 | 申请（专利权）人： | 万桦（常州）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B19/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/04;B24B55/06;B24B55/12 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 用新型公开了一种化学机械打磨设备，包括工作台，所述工作台表面开设有若干个放置槽，所述工作台两端均安装有丝杆，所述丝杆一端穿过工作台与伺服电机的输出端连接，所述丝杆上套设有滑块，且其中的一个滑块上安装有打磨电机，所述打磨电机的输出端与打磨辊一端连接，所述打磨辊另一端转动安装在另一个滑块上，所述工作台上开设有若干个安装槽，所述安装槽内通过连接头安装有若干个螺杆，所述工作台一侧安装有安装架，所述安装架上安装有驱动电机，所述驱动电机输出端与其中一个螺杆穿出工作台的一端连接，所述安装架内侧设有相互啮合的若干个齿轮，本实用新型，对多个抛光垫原材料打磨方便，提高了打磨效率，保证了打磨精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 打磨 设备 | ||
【主权项】：
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