[实用新型]一种化学机械打磨设备有效
申请号: | 202121382185.9 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN216228876U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 傅一非;李良军;何玲芳;苏明;杨丽洁 | 申请(专利权)人: | 万桦(常州)新材料科技有限公司 |
主分类号: | B24D18/00 | 分类号: | B24D18/00;B24B19/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/04;B24B55/06;B24B55/12 |
代理公司: | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人: | 张晓媛 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 机械 打磨 设备 | ||
用新型公开了一种化学机械打磨设备,包括工作台,所述工作台表面开设有若干个放置槽,所述工作台两端均安装有丝杆,所述丝杆一端穿过工作台与伺服电机的输出端连接,所述丝杆上套设有滑块,且其中的一个滑块上安装有打磨电机,所述打磨电机的输出端与打磨辊一端连接,所述打磨辊另一端转动安装在另一个滑块上,所述工作台上开设有若干个安装槽,所述安装槽内通过连接头安装有若干个螺杆,所述工作台一侧安装有安装架,所述安装架上安装有驱动电机,所述驱动电机输出端与其中一个螺杆穿出工作台的一端连接,所述安装架内侧设有相互啮合的若干个齿轮,本实用新型,对多个抛光垫原材料打磨方便,提高了打磨效率,保证了打磨精度。
技术领域
本实用新型涉及打磨技术领域,具体为一种化学机械打磨设备。
背景技术
抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料,在抛光垫的生产加工中,需要对抛光垫生产原材料进行打磨处理,现有的打磨设备对多个抛光垫的打磨不方便,影响了工作效率,抛光垫在打磨作业时稳定性不好,影响打磨精度,因此,设计一种化学机械打磨设备是很有必要的。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种化学机械打磨设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种化学机械打磨设备,包括工作台,所述工作台表面开设有若干个放置槽,所述工作台两端均安装有丝杆,所述丝杆一端穿过工作台与伺服电机的输出端连接,所述丝杆上套设有滑块,且其中的一个滑块上安装有打磨电机,所述打磨电机的输出端与打磨辊一端连接,所述打磨辊另一端转动安装在另一个滑块上,所述工作台上开设有若干个安装槽,所述安装槽内通过连接头安装有若干个螺杆,所述工作台一侧安装有安装架,所述安装架上安装有驱动电机,所述驱动电机输出端与其中一个螺杆穿出工作台的一端连接,所述安装架内侧设有相互啮合的若干个齿轮,且齿轮套设在位于工作台一端的若干个螺杆穿出工作台的一端上,所述螺杆上设有夹紧机构,将多个抛光垫原材料放置在放置槽内,驱动电机工作,带动其中一个安装槽内的其中一个螺杆转动,通过相互啮合的若干个齿轮转动带动其他安装槽内的螺杆转动,通过夹紧机构对放置槽内的抛光垫原材料进行夹紧固定,保证稳定,伺服电机带动丝杆转动,通过滑块带动打磨辊平移,打磨电机带动打磨辊转动,在平移过程中对抛光垫原材料表面进行打磨处理,打磨方便,提高了打磨效率。
在进一步的实施例中,所述夹紧机构包括套设在螺杆两端的移动块,位于相邻安装槽内相对的两个所述移动块之间通过连接杆连接,所述连接杆一侧安装有固定块,所述固定块伸入到放置槽内与固定环连接,所述螺杆表面两端开设有旋向相反的螺纹,通过螺杆转动使得两端的移动块带动连接杆相互靠近或远离,调整固定环的位置,方便对放置槽内的抛光垫原材料进行夹紧固定,保证打磨精度。
在进一步的实施例中,所述固定环上胶接有夹紧垫,所述夹紧垫上密布有防滑纹,通过夹紧垫的设置保证夹紧作业时对抛光垫原材料夹紧稳定。
在进一步的实施例中,所述工作台上位于放置槽中间开设有固定槽,通过将抛光垫原材料放置在固定槽内方便抛光垫原材料的固定。
在进一步的实施例中,所述固定槽和放置槽上均开设有若干个排屑孔,所述安装槽表面设有挡网,通过排屑孔的设置方便打磨作业中的废屑排出,挡网的设置有效对废屑进行阻挡。
在进一步的实施例中,所述工作台的底部安装有收集箱,所述收集箱的内壁顶部设有导料仓,所述导料仓上设有抽风机,所述收集箱的内壁底部位于导料仓下方安装有收集盒,通过抽风机工作进行抽风,形成负压,使得工作台表面的废屑通过排屑孔落入收集箱内,并通过导料仓导向收集盒,方便废屑的收集。
与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果是:
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