[实用新型]一种真空离子镀膜夹具有效
| 申请号： | 202121181121.2 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN215440669U | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 卞宝安;王国梁;陈琳;罗军;庞盼 | 申请（专利权）人： | 江南大学;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 214122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 实用新型公开一种真空离子镀膜夹具，包括底座、轨道、夹具和中心转盘，轨道设置在底座上，中心转盘设置在底座中部，轨道上设置有夹具，轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，第一轨道和第二轨道均与中心转盘连接，第三轨道与第一轨道和第二轨道之间的夹角均为120度，夹具包括扇形块和弧形夹块，扇形块的圆心夹角为120度，扇形块的中部设置有两个滚轮，滚轮设置在轨道上的滑道内，扇形块上还设置有弧形滑槽，弧形滑槽内设置有立柱，弧形夹块设置在立柱的顶部，本实用新型的真空离子镀膜夹具通过调整轨道之间的角度和弧形夹块在弧形滑槽的位置能够夹持圆形和椭圆形基片，夹持效果稳定，能够夹持的基片形状多样化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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