[实用新型]一种真空离子镀膜夹具

说明书

实用新型公开一种真空离子镀膜夹具，包括底座、轨道、夹具和中心转盘，轨道设置在底座上，中心转盘设置在底座中部，轨道上设置有夹具，轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，第一轨道和第二轨道均与中心转盘连接，第三轨道与第一轨道和第二轨道之间的夹角均为120度，夹具包括扇形块和弧形夹块，扇形块的圆心夹角为120度，扇形块的中部设置有两个滚轮，滚轮设置在轨道上的滑道内，扇形块上还设置有弧形滑槽，弧形滑槽内设置有立柱，弧形夹块设置在立柱的顶部，本实用新型的真空离子镀膜夹具通过调整轨道之间的角度和弧形夹块在弧形滑槽的位置能够夹持圆形和椭圆形基片，夹持效果稳定，能够夹持的基片形状多样化。

技术领域

本实用新型涉及真空离子镀膜设备领域，特别是涉及一种真空离子镀膜夹具。

背景技术

随着真空技术的日趋成熟，采用真空技术来提高机械设备性能或零件的使用寿命已成为当前工业生产的重要手段。企业或研发单位通过真空镀膜实验来检验某种技术的可靠性或是产品的适用性的需求日益增强，同时对用于真空实验中基片夹具的功能性要求也不断提高。

但是，市面上现存的用于真空镀膜实验的基片夹具，可夹持基片的形状单一，多为矩形基片，难以夹持圆形或椭圆形的基片。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空离子镀膜夹具，以解决上述现有技术存在的问题，使的真空离子镀膜夹具能够调节夹持不同尺寸的圆形和椭圆形基片。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种真空离子镀膜夹具，包括底座、轨道、夹具和中心转盘，所述轨道设置在所述底座上，所述中心转盘设置在底座中部，所述轨道上设置有所述夹具，所述轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，所述第一轨道和第二轨道均与所述中心转盘连接，所述第三轨道与第一轨道和第二轨道之间的夹角均为120度；

所述夹具包括扇形块和弧形夹块，所述扇形块的圆心夹角为120度，所述扇形块的中部设置有两个滚轮，所述滚轮设置在所述轨道上的滑道内，所述扇形块上还设置有弧形滑槽，所述弧形滑槽内设置有立柱，所述弧形夹块设置在所述立柱的顶部。

优选的，所述中心转盘包括销轴、内转盘和外转盘，所述内转盘上下均设置有一个所述外转盘，所述销轴穿过所述内转盘和外转盘的轴孔设置在所述底座内，所述第一轨道与所述外转盘连接，所述第二轨道与所述内转盘连通；

优选的，所述第三轨道的对称轴与所述中心转盘的圆心重合；

优选的，所述扇形块上至少设置有一个所述弧形夹块，所述弧形夹块的圆弧面设置在沿所述中心转盘的位置；

优选的，所述弧形夹块的圆心与所述中心转盘的圆心重合；

优选的，所述弧形滑槽的圆心角和所述扇形块的圆心角相同，所述弧形滑槽设置在所述扇形块偏内圆弧一侧；

优选的，当设置在第一轨道、第二轨道和第三轨道上的所述扇形块距离所述中心转盘距离相同时，所述弧形夹块能够夹持固定圆形基片；

优选的，当设置在第三轨道上的所述扇形块与所述中心转盘距离大于所述第一轨道和第二轨道上的所述扇形块与所述中心转盘的距离时，所述弧形夹块能够夹持固定椭圆基片；

优选的，所述销轴沿周向均匀开有多个限位孔，所述限位孔沿所述销轴的轴向开设有三排，相邻所述限位孔的轴夹角为30～45度，所述内转盘和外转盘的外侧均沿径向开有一个销孔，所述销孔贯穿所述内转盘和外转盘的侧壁，销钉穿过所述销孔进入所述限位孔内用于固定所述内转盘和外转盘；

优选的，所述限位孔为盲孔，所述限位孔的深度为所述销轴截面半径的二分之一。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：