[实用新型]一种真空离子镀膜夹具

权利要求书

1.一种真空离子镀膜夹具，其特征在于：包括底座、轨道、夹具和中心转盘，所述轨道设置在所述底座上，所述中心转盘设置在底座中部，所述轨道上设置有所述夹具，所述轨道包括第一轨道、第二轨道和第三轨道，所述第一轨道和第二轨道均与所述中心转盘连接，所述第三轨道与第一轨道和第二轨道之间的夹角均为120度；

所述夹具包括扇形块和弧形夹块，所述扇形块的圆心夹角为120度，所述扇形块的中部设置有两个滚轮，所述滚轮设置在所述轨道上的滑道内，所述扇形块上还设置有弧形滑槽，所述弧形滑槽内设置有立柱，所述弧形夹块设置在所述立柱的顶部。

2.根据权利要求1所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述中心转盘包括销轴、内转盘和外转盘，所述内转盘上下均设置有一个所述外转盘，所述销轴穿过所述内转盘和外转盘的轴孔设置在所述底座内，所述第一轨道与所述外转盘连接，所述第二轨道与所述内转盘连通。

3.根据权利要求1所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述第三轨道的对称轴与所述中心转盘的圆心重合。

4.根据权利要求1所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述扇形块上至少设置有一个所述弧形夹块，所述弧形夹块的圆弧面设置在沿所述中心转盘的位置。

5.根据权利要求4所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述弧形夹块的圆心与所述中心转盘的圆心重合。

6.根据权利要求5所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述弧形滑槽的圆心角和所述扇形块的圆心角相同，所述弧形滑槽设置在所述扇形块偏内圆弧一侧。

7.根据权利要求1所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：当设置在第一轨道、第二轨道和第三轨道上的所述扇形块距离所述中心转盘距离相同时，所述弧形夹块能够夹持固定圆形基片。

8.根据权利要求1所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：当设置在第三轨道上的所述扇形块与所述中心转盘距离大于所述第一轨道和第二轨道上的所述扇形块与所述中心转盘的距离时，所述弧形夹块能够夹持固定椭圆基片。

9.根据权利要求2所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述销轴沿周向均匀开有多个限位孔，所述限位孔沿所述销轴的轴向开设有三排，相邻所述限位孔的轴夹角为30～45度，所述内转盘和外转盘的外侧均沿径向开有一个销孔，所述销孔贯穿所述内转盘和外转盘的侧壁，销钉穿过所述销孔进入所述限位孔内用于固定所述内转盘和外转盘。

10.根据权利要求9所述的真空离子镀膜夹具，其特征在于：所述限位孔为盲孔，所述限位孔的深度为所述销轴截面半径的二分之一。