[实用新型]一种蒸镀用陶瓷加热器有效
| 申请号： | 202121067996.X | 申请日： | 2021-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN217011223U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 何军舫 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/40 | 分类号： | H05B3/40;H05B3/02;H05B3/03;H05B3/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 101101*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10‑30mm。蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】：
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