[实用新型]一种蒸镀用陶瓷加热器

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10‑30mm。蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀用陶瓷加热器技术领域，特别涉及一种蒸镀用陶瓷加热器。

背景技术

目前不同行业对于加热器有特殊的要求，比如在制作太阳能薄膜电池和OLED柔性面板这种真空蒸镀工艺中，因为是在高真空环境下生产制作，所以对于加热器的要求更是极为严苛，对于具有多个加热区蒸镀加热装置，需要控制不同加热区的凝固结晶，因此，需要研发一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。

实用新型内容

(一)实用新型目的

本实用新型的目的是提供一种能够实现控制不同加热区的凝固结晶的蒸镀用陶瓷加热器。

(二)技术方案

为解决上述问题，本实用新型实施例提供了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10-30mm。

进一步地，还包括：电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150°-180°。

进一步地，所述电极包括：导电层露出部；安装孔，位于所述导电层露出部；其中，所述导电层露出部的面积大于等于所述安装孔面积。

进一步地，多个所述电极不重合设置。

进一步地，所述加热器基体的侧面与所述加热器基体的底面通过弧面连接。

进一步地，所述加热电路串联或并联；其中，所述加热电路串联时，电极与加热电路连接处的宽度≥所述加热电路的宽度；N条所述加热电路并联时，电极与所述加热电路连接处的宽度≥N倍的所述加热电路的宽度；其中，N≥2。

进一步地，所述第一加热区相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

进一步地，所述第二加热区相邻所述加热电路的间隔为0.3-3mm。

进一步地，所述加热器基体的底面具有通孔；所述通孔的轴向与所述加热器基体的轴向重合；其中，所述通孔的直径为所述加热器基体内径的10-75％。

进一步地，所述加热器基体的高度为10-800mm；所述加热器基体的内径为10-300mm。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的一种蒸镀用陶瓷加热器的结构示意图；