[实用新型]一种整片晶圆纳米压印光刻机

摘要

本实用新型公开了一种整片晶圆纳米压印光刻机，包括底板，所述底板的顶部通过轴承转动连接有竖杆，所述竖杆的外壁上方固接有多个支杆，所述支杆的末端设有限位机构。该整片晶圆纳米压印光刻机，可对多个承片台内部晶圆实现轴向转动切换印压加工，进而大幅提升加工效率，且通过顶板与凹槽的转动连接，以及弹簧一的设置，使得顶板可同时向内转动，进而对不同尺寸的晶圆实现限位固定，提升加工稳定性，进而保证印压精度，加工后晶圆可在切换加工过程中自动顶出承片台，进而提升卸料便捷性，提升加工效率，竖杆可随着电机慢速转动，进而可实现电控间歇切换加工，自动化程度更高。