[实用新型]一种整片晶圆纳米压印光刻机

权利要求书

1.一种整片晶圆纳米压印光刻机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部通过轴承转动连接有竖杆(5)，所述竖杆(5)的外壁上方固接有多个支杆(9)，所述支杆(9)的末端设有限位机构(6)；

所述限位机构(6)包括承片台(601)、凹槽(602)、顶板(603)、弹簧一(604)、套环(605)、螺栓(606)和竖槽(607)；

所述承片台(601)的内端与支杆(9)固定连接，所述承片台(601)的内壁加工有多个凹槽(602)，所述凹槽(602)的内部转动连接有多个顶板(603)，所述顶板(603)的转轴上安装有弹簧一(604)，所述承片台(601)的外壁套接有套环(605)，所述套环(605)的外端螺纹连接有螺栓(606)，所述螺栓(606)的内端通过竖槽(607)与承片台(601)的外壁滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述底板(1)的顶部固接有机体(2)，所述机体(2)的顶部贯穿栓接有气缸(3)。

3.根据权利要求2所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述气缸(3)的底部安装有压印头(4)，且压印头(4)与最后侧的承片台(601)纵向对应设置。

4.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述承片台(601)呈环形等距分布。

5.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述承片台(601)的内部设有顶出机构(7)；

所述顶出机构(7)包括方槽(701)、转板(702)、顶杆(703)、弹簧二(704)、滚轮(705)和弧面凸块(706)；

所述方槽(701)加工于承片台(601)的内壁底部，所述方槽(701)的内部转动连接有转板(702)，所述转板(702)的底部抵紧有顶杆(703)，所述顶杆(703)的外壁贯穿承片台(601)的底部并延伸至其内部，所述顶杆(703)的外壁套接安装有弹簧二(704)，所述顶杆(703)的底部安装有滚轮(705)，所述滚轮(705)的下方设有弧面凸块(706)，所述弧面凸块(706)固接于底板(1)的顶部。

6.根据权利要求5所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述弧面凸块(706)位于滚轮(705)圆周运动的轨迹上。

7.根据权利要求1所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述竖杆(5)的外侧设有传动机构(8)；

所述传动机构(8)包括电机(801)、齿轮一(802)和齿轮二(803)；

所述电机(801)安装于底板(1)的顶部，且电机(801)的输出端固接有齿轮一(802)，所述齿轮一(802)的外壁啮合连接有齿轮二(803)，所述齿轮二(803)固接于竖杆(5)的外壁。

8.根据权利要求7所述的一种整片晶圆纳米压印光刻机，其特征在于：所述齿轮一(802)和齿轮二(803)的齿数比为1/10。