[实用新型]一种碳化硅外延炉酸碱过滤器及过滤系统有效
| 申请号： | 202120936484.6 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN215842358U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 罗金云;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/00;B01D46/30 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 徐铭煌 |
| 地址： | 361001 福建省厦门市火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化硅外延炉酸碱过滤器及过滤系统，包括：开关阀、风机及过滤器，开关阀的入口与反应腔体导通，开关阀的出口与过滤器的入口导通，过滤器的出口与风机的入口导通，过滤器内设有过滤材料；风机将反应腔体内的气体抽出，并通过过滤器进行过滤。这种碳化硅外延炉酸碱过滤器，在需要进行维护时，打开开关阀，将反应腔体内的残留气体输送至过滤器内进行酸液过滤，气体过滤后通过风机排放至户外的酸碱处理器内进行处理。在风机之前通过过滤器进行过滤，可以避免风机叶轮上挂有酸液，避免风机被腐蚀，可以提升产品的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 酸碱 过滤器 过滤 系统 | ||
【主权项】：
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