[实用新型]一种陶瓷压环

摘要

本实用新型的一种陶瓷压环，包括呈圆环形状的陶瓷压环本体，以陶瓷压环本体内周面的一端边缘向内固定形成有晶圆承载盘按压边沿，晶圆承载盘按压边沿具有可按压在加工平面上的按压面，所述的晶圆承载盘按压边沿具有弧形缺口；晶圆承载盘二次按压边沿。设置晶圆承载盘按压边沿和晶圆承载盘二次按压边沿可将晶圆承载盘按压固定在晶圆加工台上，位于晶圆承载盘按压边沿上的弧形缺口可增大晶圆承载盘按压边沿内周面与晶圆加工槽的间隙，在实现对晶圆承载盘进行按压的功能时，还可以因此在加工平面上可排布更多晶圆加工槽，一定程度上的提高了晶圆加工的产能，其结构设计合理。