[实用新型]一种离子源头结构及离子注入机

摘要

本实用新型公开了一种离子源头结构，其特征在于，包括灯丝、阴极、绝缘支撑件、起弧室；所述阴极呈一壳罩状且具有容纳腔，所述灯丝置于所述容纳腔内；所述起弧室的一侧壁开设安装孔，所述阴极贯穿所述安装孔并延伸至所述起弧室内；所述绝缘支撑件设置于所述阴极与所述安装孔的孔壁之间，以使所述阴极与所述侧壁之间绝缘。本实用新型通过在阴极与安装孔的侧壁之间增设绝缘支撑件，避免了因阴极与起弧室的侧壁接触导致的起弧室短路的发生，减少了设备宕机的总次数，有利于产能的提升，且减少了额外的设备维护成本；另外，绝缘支撑件还可以对阴极起到支撑作用，减少阴极的形变。