[实用新型]集成共焦法与三角法的位移测量装置有效
| 申请号： | 202120799278.5 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214470643U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 秦鑫晨;卢科青;王文;王传勇;陈占锋;居冰峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了集成共焦法与三角法的位移测量装置。现有位移测量方式的精度与量程存在矛盾。本实用新型的激光共焦位移传感器探头、位置敏感元件和聚焦透镜均与测头面板固定；激光共焦位移传感器探头与激光共焦位移传感器本体的光学单元及控制器连接组成激光共焦位移传感器；激光共焦位移传感器探头的测量光由激光共焦位移传感器本体的光学单元产生，并通过光纤传输到激光共焦位移传感器探头；激光共焦位移传感器探头的测量光中心轴线与聚焦透镜的中心轴线位于同一平面内；位置敏感元件的信号输出端与控制器连接；激光共焦位移传感器、聚焦透镜以及位置敏感元件组成三角法位移测量系统。本实用新型测量精度高，且量程大。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 共焦法 三角 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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