[实用新型]集成共焦法与三角法的位移测量装置有效
| 申请号： | 202120799278.5 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN214470643U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 秦鑫晨;卢科青;王文;王传勇;陈占锋;居冰峰 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 共焦法 三角 位移 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.集成共焦法与三角法的位移测量装置，包括激光共焦位移传感器探头、探头固定夹具二、探头固定夹具一和测头面板，其特征在于：还包括固定座、位置敏感元件、透镜保持架和聚焦透镜；所述的探头固定夹具一与探头固定夹具二固定，并夹紧激光共焦位移传感器探头；探头固定夹具一与测头面板固定；所述的位置敏感元件固定在固定座上，固定座与测头面板固定；所述的聚焦透镜固定在透镜保持架上，透镜保持架与测头面板固定；激光共焦位移传感器探头与激光共焦位移传感器本体的光学单元及控制器连接组成激光共焦位移传感器；激光共焦位移传感器探头的测量光由激光共焦位移传感器本体的光学单元产生，并通过光纤传输到激光共焦位移传感器探头；激光共焦位移传感器探头的测量光中心轴线与聚焦透镜的中心轴线位于同一平面内；位置敏感元件的信号输出端与控制器连接；激光共焦位移传感器、聚焦透镜以及位置敏感元件组成三角法位移测量系统。
2.根据权利要求1所述集成共焦法与三角法的位移测量装置，其特征在于：所述的位置敏感元件采用线阵CMOS图像传感器或线阵CCD元件。
3.根据权利要求1或2所述集成共焦法与三角法的位移测量装置，其特征在于：所述的测头面板设有一体成型的连接杆。
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