[实用新型]一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构有效
| 申请号： | 202120717984.0 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN215639493U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张文旭;彭斌;张万里;余涛 | 申请（专利权）人： | 张文旭 |
| 主分类号： | G01D5/22 | 分类号： | G01D5/22 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 刘楠 |
| 地址： | 610051 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种含Set/Reset功能的线性磁阻传感器芯片结构，包括硅基体，在硅基体上依次铺设敏感单元层、Barber电极层和Set/Reset线圈层；其中在、Barber电极层与Set/Reset线圈层之间设置钝化层一，在Set/Reset线圈层上方设置钝化层二，本实用新型的磁场线圈采用全平面工艺，避免了螺线圈的三维加工技术，降低了导线的电阻，减小了线圈发热；采用多层膜结构，既能够提升芯片的集成度，拓展芯片的可用功能，在保证芯片测试精度的前提下，又能够有效减小芯片面积，降低芯片生产成本，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 set reset 功能 线性 磁阻 传感器 芯片 结构 | ||
【主权项】：
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