[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构

摘要

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，包括：旋转驱动器；连杆模组，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及炉门组件，其与所述开合驱动器的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器通过所述连杆模组驱动所述炉门组件转动。根据本实用新型，其通过开合驱动器驱动炉门组件沿X轴方向往复运动，通过旋转驱动器驱动炉门组件转动，以进行炉门的开启及关闭，减小了机台的占地空间，同时以减少旋转驱动器及开合驱动器驱动炉门活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，增强了结构的可靠性，从而大大提高了设备的稳定性及便捷性。