[实用新型]一种多极金属陶瓷封接加速管

摘要

本实用新型公开了一种多极金属陶瓷封接加速管，多极金属陶瓷封接加速管包括两个超高真空法兰和加速管，两个超高真空法兰分别设于加速管的两端，并与加速管固定连接；加速管由若干氧化铝陶瓷环和数量比氧化铝陶瓷环多一的金属分压片依次交替组合固定而成，且位于两端的金属分压片的外侧还设有用于连接超高真空法兰的可伐过渡段，氧化铝陶瓷环的截面为环形，金属分压片为环形，且氧化铝陶瓷环的截面与金属分压片的内圆半径相同；各氧化铝陶瓷环的截面圆心及金属分压片圆心均位于加速管的轴线上。本实用新型提供的多极金属陶瓷封接加速管，具有耐电压高、真空气密性好、封接强度高、聚焦性能好、加速能量大、安装方便的特点。