[实用新型]一种多极金属陶瓷封接加速管

权利要求书

1.一种多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述多极金属陶瓷封接加速管包括加速管和两个超高真空法兰(1)，两个超高真空法兰(1)分别设于加速管(5)的两端，并与加速管(5)固定连接；

所述加速管(5)由若干氧化铝陶瓷环(4)和数量比氧化铝陶瓷环多一的金属分压片(3)依次交替组合固定而成，且位于两端的金属分压片(3)的外侧还设有用于连接超高真空法兰(1)的可伐过渡段(2)，所述氧化铝陶瓷环(4)的横截面为环形，所述金属分压片(3)为环形，且氧化铝陶瓷环(4)的横截面与金属分压片(3)的内圆半径相同；各氧化铝陶瓷环(4)的横截面圆心及金属分压片(3)圆心均位于加速管(5)的轴线上。

2.根据权利要求1所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述金属分压片(3)采用铁镍合金制成。

3.根据权利要求2所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述金属分压片(3)的厚度为0.5mm，所述金属分压片的表面镀有镀镍层，镀镍层厚度不低于5μm且表面光洁度不大于Ra0.8。

4.根据权利要求1所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述氧化铝陶瓷环(4)中氧化铝的含量不小于95％，密度不小于3.75g/cm³。

5.根据权利要求1所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述氧化铝陶瓷环(4)采用等静压成型，烧结，经金属化制成，并在金属化后进行镀镍处理。

6.根据权利要求5所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述等静压成型的成型压力不低于120MPa。

7.根据权利要求5所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，所述金属化的温度不低于1530℃。

8.根据权利要求5所述的多极金属陶瓷封接加速管，其特征在于，陶瓷环镀镍后的镀镍层厚度不低于5μm。