[实用新型]一种高效快速电子束镀膜设备有效
| 申请号： | 202120689039.4 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN214572199U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;周曼曼;马赛 | 申请（专利权）人： | 浙江弘康半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 胡国平 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效快速电子束镀膜设备，包括位于上方的卷绕室、下方的镀膜室、真空管道空间，所述真空管道空间将镀膜室和卷绕室隔离，并通过镀膜辊旁边的缝隙与镀膜室相连，所述卷绕室内设有卷绕系统、在线膜厚测试仪，所述卷绕室顶部连有抽真空系统，所述镀膜室内设有电子束装置、等离子体辅助镀膜系统、蒸发坩埚、气体进气系统。本实用新型能够克服因扩散能力低和径向力分布不均引起的沉积薄膜致密性不足和薄膜褶皱的缺点，具有蒸发速度快，成膜质量高，高效快速的特点，还具有连续镀膜，卷绕张力控制稳定，在线检测等优点，占用体积小，是一种高效快速的电子束镀膜设备，适合研发机构和小产量镀膜加工使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 快速 电子束 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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