[实用新型]一种外延炉生产用洗气装置有效
| 申请号： | 202120667202.7 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214914592U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 彭日宇 | 申请（专利权）人： | 四川雅吉芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/18;B01D53/00;B01D53/04 |
| 代理公司： | 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 | 代理人： | 高炜丽 |
| 地址： | 625000 四川省雅安市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有废气管，所述废气管的一端固定连接有连接块，所述连接块的顶部开设有螺纹槽。该外延炉生产用洗气装置，达到了该洗气装置净化效果好的目的，从而解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，且该洗气装置的净化工作变得更加高效，让人们不再担心废气会污染大气环境，不但提升了该洗气装置的环保作用，也保障了人们的呼吸健康，从而提高了该洗气装置的使用品质，也提高了人们的工作效率，让人们使用起来更加的省心，满足了人们的使用需求，给人们的工作带来便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 生产 用洗气 装置 | ||
【主权项】：
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