[实用新型]一种外延炉生产用洗气装置

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有废气管，所述废气管的一端固定连接有连接块，所述连接块的顶部开设有螺纹槽。该外延炉生产用洗气装置，达到了该洗气装置净化效果好的目的，从而解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题，使得该洗气装置在使用过程中能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，且该洗气装置的净化工作变得更加高效，让人们不再担心废气会污染大气环境，不但提升了该洗气装置的环保作用，也保障了人们的呼吸健康，从而提高了该洗气装置的使用品质，也提高了人们的工作效率，让人们使用起来更加的省心，满足了人们的使用需求，给人们的工作带来便利。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种外延炉生产用洗气装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明和大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。众所周知，外延炉是半导体生产加工的一种设备。

但是，现有的外延炉生产用洗气装置净化效果不好，使得该洗气装置在使用过程中不能够有效的对外延炉产生的废气进行净化，导致没有净化好的气体被排放到大气层，使废气污染到大气环境，当人们吸入这些有害气体后，健康就无法得不到保障，从而降低了该洗气装置的使用品质，也降低了人们的工作效率，让人们使用起来不是很省心，所以现有的外延炉生产用洗气装置无法满足人们的使用需求，给人们的工作带来不便。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种外延炉生产用洗气装置，具备净化效果好等优点，解决了一般外延炉生产用洗气装置净化效果不好的问题。

(二)技术方案

为实现上述洗气装置净化效果好的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种外延炉生产用洗气装置，包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有废气管，所述废气管的一端固定连接有连接块，所述连接块的顶部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内壁活动连接有螺栓，所述连接块的外壁固定连接有弯管，所述弯管的外壁开设有固定孔，所述弯管的外壁固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有供水管。

所述水箱的底部固定连接有排水管，所述排水管的外壁活动连接有活动销，所述水箱的内侧壁固定连接有滑道，所述滑道的内壁活动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有活性炭过滤棒，所述水箱的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的一端固定连接有挡块。

优选的，所述水箱的顶部开设有安装孔，且弯管通过安装孔与水箱固定连接。

优选的，所述滑道的形状大小和滑块的形状大小均相互匹配，且活性炭过滤棒通过滑块与滑道活动连接。

优选的，所述螺栓的外壁活动连接有垫圈，且垫圈为橡胶垫圈。

优选的，所述螺栓的形状大小和螺纹槽的形状大小均相互匹配，且螺栓通过螺纹槽与连接块活动连接。

优选的，所述排水管的外壁开设有通孔，且通孔的形状大小和活动销的形状大小均相互匹配，且活动销通过通孔与排水管活动连接。

优选的，所述固定杆的一端与水箱的顶部固定连接，且固定杆的一端与挡块的底部固定连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种外延炉生产用洗气装置，具备以下有益效果：