[实用新型]一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置

摘要

本实用新型公开了一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置，包括箱体，设置在箱体上的出料口，还包括安装在箱体上的固定架和支撑架，安装在固定架上的旋转气缸，安装在支撑架上的旋转轴，以及安装在旋转轴上的密封组件，旋转气缸上设置有输出轴，输出轴上安装有联轴器，联轴器另一端与旋转轴连接，本实用新型通过旋转气缸带动旋转轴转动，从而带动安装在旋转轴上的密封组件转动，实现密封组件和箱体的打开和密封，无需人工手动对箱体进行密封，有效的增加箱体的密封工作效率，同时采用旋转气缸实现装置的自动密封，不会出现因人工疏忽导致密封不完全的情况。