[实用新型]一种双臂式晶圆取放机构有效
| 申请号： | 202120341345.9 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN214569097U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 颜博 | 申请（专利权）人： | 苏州新尚思自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/90 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 方中 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区太湖新城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种双臂式晶圆取放机构，其包括取放臂、取放夹头、及动力取放器，取放臂有两组，每组取放臂一端部对应设有一个取放夹头；每个取放夹头包括固定夹臂和活动夹臂，固定夹臂包括臂本体、设置在臂本体两端的第一支撑座和第二支撑座，活动夹臂相对第一支撑座或第二支撑座运动。本实用新型通过分别连接有取放夹头的两组取放臂，实现依次连续取放晶圆，这样一来，夹头运动幅度小，一个工作循环周期短，提高生产效率；同时，通过设置在臂本体两端的第一支撑座和第二支撑座，将晶圆与臂本体隔开，减少晶圆与臂本体的接触面积，避免晶圆摩擦损坏；通过活动设置在臂本体一端的活动夹臂，保证晶圆被夹紧，防止晃动或脱落，保证生产正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双臂 式晶圆取放 机构 | ||
【主权项】：
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