[实用新型]一种用于二极管酸洗的酸洗盘有效

专利信息
申请号: 202120282664.7 申请日: 2021-02-01
公开(公告)号: CN213936139U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 吴美龄 申请(专利权)人: 深圳威谷微电子技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种用于二极管酸洗的酸洗盘,酸洗盘包括盘体和设置在盘体表面的若干个隔离柱,多个隔离柱围成二极管芯体的放置空间,盘体内开设有气流道,气流道与放置空间通过气孔相连通,气流道口通过气管连接设置于酸洗设备上的进气器,进气器发出的气体通过气流道和气孔进入到放置空间中,从二极管芯体下方向上吹,使二极管芯体翻滚。本实用新型提供的一种用于二极管酸洗的酸洗盘,多个隔离柱围成放置空间,酸洗盘上具有多个放置空间,并且每一个放置空间下方都有气孔与气流道相连通。气体不仅能吹动二极管芯体翻滚,还能搅动酸洗液,使酸洗与二极管芯体接触更加完全和充分。酸洗完全,不留死角,提升酸洗质量。
搜索关键词: 一种 用于 二极管 酸洗
【主权项】:
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