[实用新型]一种单晶硅片的清洗装置有效
| 申请号： | 202120140589.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214516256U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;汪国平 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种单晶硅片的清洗装置，包括机体，所述机体的内底壁固定连接有固定板，所述固定板的顶部滑动连接有U形板，所述U形板顶部的前侧和后侧均转动连接有旋转杆，所述机体左右两侧的内壁均固定连接有放置块，两个所述放置块相对的一侧活动连接有安装框。该单晶硅片的清洗装置，通过启动电机，使第二齿轮转动，带动第一齿轮转动，使两个旋转杆转动，使两个杆套上的刷毛对安装框内硅片本体的前后侧进行刷洗，并控制电动推杆伸缩，使移动板在框形板内部左右移动，从而使两个杆套上的刷毛对硅片的前后两面进行旋转并移动清洗，提高了单晶硅片的洗涤效率，进而有利于单晶硅片的快速清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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