[实用新型]一种单晶硅片的清洗装置有效
| 申请号： | 202120140589.0 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214516256U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;汪国平 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 清洗 装置 | ||
1.一种单晶硅片的清洗装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内底壁固定连接有固定板(2)，所述固定板(2)的顶部滑动连接有U形板(3)，所述U形板(3)顶部的前侧和后侧均转动连接有旋转杆(4)，所述机体(1)左右两侧的内壁均固定连接有放置块(5)，两个所述放置块(5)相对的一侧活动连接有安装框(6)，所述安装框(6)的内部固定安装有硅片本体(7)，两个所述旋转杆(4)的侧表面均固定套接有杆套(8)，两个所述杆套(8)的侧表面均固定连接有刷毛，两个所述刷毛分别与硅片本体(7)的正面和背面活动连接，所述机体(1)的顶部固定连接有框形板(9)，所述框形板(9)左侧的内壁固定连接有电动推杆(10)，所述电动推杆(10)的右端固定连接有移动板(11)，两个所述旋转杆(4)的顶端分别与移动板(11)底部的前侧和后侧转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述安装框(6)的左右两侧均固定连接有连接块(12)，两个所述放置块(5)顶部的相对一侧均开设有竖槽(13)，两个所述连接块(12)分别与两个竖槽(13)的内部活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述移动板(11)的正面和背面均固定连接有滑块(14)，所述框形板(9)前后两侧的内壁均开设有滑槽(15)，两个所述滑块(14)分别与两个滑槽(15)的内部滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述移动板(11)的内部开设有安装槽(16)，所述安装槽(16)的内顶壁转动连接有第一齿轮(17)和第二齿轮(18)，所述第一齿轮(17)的侧表面和第二齿轮(18)的侧表面相啮合，两个所述旋转杆(4)的顶端分别与第一齿轮(17)和第二齿轮(18)的底部固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述移动板(11)的顶部固定连接有电机(19)，所述电机(19)的输出端与第二齿轮(18)的顶部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片的清洗装置，其特征在于：所述机体(1)的顶部开设有通槽(20)，所述安装框(6)与通槽(20)的内部活动连接。
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