[实用新型]批次型湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型提供一种批次型湿法刻蚀设备，包括槽体、供液管路、惰性气体管路、支架及轴承；供液管路一端与刻蚀液源相连通，另一端与槽体相连通；惰性气体管路位于槽体内且位于槽体下部，与惰性气体源相连通，惰性气体管路上设置有进气孔，以向刻蚀液内供应惰性气体，使刻蚀液向上鼓泡；支架位于槽体外，轴承固定于支架上，且惰性气体管路与轴承相连接；当驱动轴承旋转时，轴承带动惰性气体管路移动以改变惰性气体管路的位置。本实用新型在无需设备停机的情况下，工作人员无需进入槽体内，在槽体外部即可对槽体内的惰性气体管路的位置进行调整，以通过改善惰性气体的分布调整刻蚀液分布，提高刻蚀均匀性及设备产出率以及提高职业环境安全性。