[实用新型]一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘有效
| 申请号： | 202120130043.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214122679U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黄大勇;李天宝;谢凡;汪晓虎;晏俊 | 申请（专利权）人： | 随州润晶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，包括圆柱形旋转轴，旋转轴的中间有中心孔，侧边有方形卡槽，旋转轴上设置有旋转圆盘，旋转圆盘上设置有方形凸台，方形凸台四个角导圆与旋转圆盘同面，方形凸台与旋转圆盘形成台面，方形凸台的四边处分别设置有微型斜孔，且其正中位置设置有中心微孔，微型斜孔和中心微孔通过导管与中心孔相通，组成真空吸附通道。本实用新型具体方便超薄石英晶片取放，载台旋转平稳，石英晶片吸附在载台表面不变形，有效保障光刻胶旋涂过程中涂布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄型 石英 晶圆片 涂胶 | ||
【主权项】：
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