[实用新型]一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘有效
| 申请号： | 202120130043.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214122679U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黄大勇;李天宝;谢凡;汪晓虎;晏俊 | 申请（专利权）人： | 随州润晶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超薄型 石英 晶圆片 涂胶 | ||
【权利要求书】：
1.一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，包括圆柱形旋转轴（10），其特征在于：所述旋转轴（10）的中间有中心孔（11），侧边有方形卡槽（12），所述旋转轴（10）上设置有旋转圆盘（09），所述旋转圆盘（09）上设置有方形凸台（08），所述方形凸台（08）四个角导圆与旋转圆盘（09）同面，所述方形凸台（08）与旋转圆盘（09）形成台面（07），所述方形凸台（08）的四边处分别设置有微型斜孔（03），且其正中位置设置有中心微孔（05），所述微型斜孔（03）和中心微孔（05）通过导管与中心孔（11）相通，组成真空吸附通道。
2.根据权利要求1所述的一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，其特征在于：所述旋转圆盘（09）的盘面厚度大于方形凸台（08）的厚度。
3.根据权利要求2所述的一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，其特征在于：所述旋转圆盘（09）的盘面厚度是方形凸台（08）的厚度的3～4倍。
4.根据权利要求1所述的一种超薄型石英晶圆片的涂胶载盘，其特征在于：所述旋转圆盘（09）的质量是方形凸台（08）的5倍以上。
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