[实用新型]一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台有效
| 申请号： | 202120115021.3 | 申请日： | 2021-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN213814414U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 金光日;薛志杰;林红 | 申请（专利权）人： | 北京金盛微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/10 | 分类号： | G05D3/10 |
| 代理公司： | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人： | 李琼 |
| 地址： | 100000 北京市西城区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种在真空室内实现样片台的X轴、Y轴、Z轴移动平台，包括X轴导轨、Y轴导轨和Z轴导轨，所述X轴导轨的下部设置有真空室底板，所述X轴导轨的下部设置有X轴驱动电机，所述X轴驱动电机通过联轴节和连接轴安装有磁流体，所述X轴导轨的底部一端安装有齿条，所述磁流体远离X轴驱动电机的一端安装有齿轮，所述X轴导轨的顶部设置有样片台，所述Y轴导轨上设置有Y轴驱动电机，所述Y轴驱动电机输出端安装有蜗轮蜗杆。本实用新型有效实现样片台对于加工源的扫描移动，并能以X轴旋转移动平台，有效提高整体的工作效率，减少人工操作，降低工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 室内 实现 样片 移动 平台 | ||
【主权项】：
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