[实用新型]一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池有效
| 申请号： | 202120041227.6 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN214088717U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 何志刚;余丞宏 | 申请（专利权）人： | 上海戴丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/10;C25D7/12 |
| 代理公司： | 苏州所术专利商标代理事务所(普通合伙) 32473 | 代理人： | 孙兵 |
| 地址： | 201600 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种阳极可侧向抽拉式晶圆水平电镀池，包括电镀液池和阳极组件，所述电镀液池的一侧壁上设有抽拉开口，所述电镀液池内还设有导电插座，所述阳极组件包括端板、水平板、阳极金属和导电中继板，所述端板安装在所述水平板的一端，所述阳极金属放置在所述水平板上，所述导电中继板与所述阳极金属导电连接；所述阳极组件穿过所述抽拉开口安装到电镀液池内，且所述导电中继板与所述导电插座导电连接，所述端板经锁付件锁付并压靠在所述抽拉开口外侧的电镀液池外侧壁上，所述端板与电镀液池外侧壁之间还设有密封件。本实用新型相较于现有技术，阳极组件可以整体直接从电镀液池的侧向抽拉开口抽出，方便了阳极金属的更换，极大提升了维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 侧向 抽拉式晶圆 水平 电镀 | ||
【主权项】：
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